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梅塞尔高纯气体减压阀

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产品名称: 梅塞尔高纯气体减压阀
产品型号: E61
产品展商: 其他品牌
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简单介绍

E61梅塞尔高纯气体减压阀适用于高纯气体的减压，气体等级8.0。*大入口压力200bar，*大出口压力10bar，Cv流量系数0.15，接口为1/4"VCR公头或母头。E61高纯减压阀有平膜片型，介质不接触弹簧型和**压力型可选


梅塞尔高纯气体减压阀  的详细介绍
感应形式…………膜片式
减压级数…………单级
入口压力…………max. 200bar
出口压力…………1.5/4/10bar
调压方式…………手柄调节
接口尺寸…………1/4"VCR公头或母头
表面抛光度………Ra≤0.25μm，可选Ra≤0.18μm（电子抛光）
流量系数…………Cv=0.15
重量………………1.4kg
材质
阀体………………316L不锈钢
膜片………………哈氏合金
其他过流部件……316L不锈钢
阀座………………PCTFE

E61梅塞尔高纯气体减压阀选型说明
E61-M：介质不接触弹簧型。*低限度地减小产生颗粒的可能性。
E61-PS：平膜片型。膜片采用平膜片，特别适合于腐蚀性气体。阀杆采用更耐腐蚀的哈氏合金，延长使用寿命。
E61-V：**压力型。适合低压力应用。
E61-M
200
10
P
VCRM
VCRF
M
M
型号
进气压力P1
出气压力P2
表面等级
进气接头
出气接头
进气指示
出气指示
E61-0
E61-M
E61-PS
E61-V
40-max.40bar
200-max.200bar
 
1.5-max.1.5 bar
4-max.4 bar
10-max.10 bar
P-Ra≤0.25μm
HP-Ra≤0.18μm
VCRM-1/4” VCR公头
VCRF-1/4”VCR母头
VCRA-1/4”VCR公头(固定)
B-无（堵头）
M-压力表
K-电接点压力表
D-压力传感器
0-VCR接口

E61尺寸图



E61梅塞尔高纯气体减压阀产品特征
为小流量优化设计，内表面电子级抛光处理
*小化内部容积以缩短吹扫时间
所有过流部件都采用316L不锈钢、哈氏合金、PCTFE、PVDF材质
高精度控制
金属对金属密封
通过手柄实现出口压力限位
100%氦气检漏测试
100/10级无尘室内组装
可要求提供SEMASPEC认证文件
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