產品資料

梅塞爾高純氣體減壓閥

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產品名稱: 梅塞爾高純氣體減壓閥
產品型號: E61
產品展商: 其他品牌
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簡單介紹

E61梅塞爾高純氣體減壓閥適用于高純氣體的減壓，氣體等級8.0。*大入口壓力200bar，*大出口壓力10bar，Cv流量系數0.15，接口為1/4"VCR公頭或母頭。E61高純減壓閥有平膜片型，介質不接觸彈簧型和**壓力型可選


梅塞爾高純氣體減壓閥  的詳細介紹
感應形式…………膜片式
減壓級數…………單級
入口壓力…………max. 200bar
出口壓力…………1.5/4/10bar
調壓方式…………手柄調節
接口尺寸…………1/4"VCR公頭或母頭
表面拋光度………Ra≤0.25μm，可選Ra≤0.18μm（電子拋光）
流量系數…………Cv=0.15
重量………………1.4kg
材質
閥體………………316L不銹鋼
膜片………………哈氏合金
其他過流部件……316L不銹鋼
閥座………………PCTFE

E61梅塞爾高純氣體減壓閥選型說明
E61-M：介質不接觸彈簧型。*低限度地減小產生顆粒的可能性。
E61-PS：平膜片型。膜片采用平膜片，特別適合于腐蝕性氣體。閥桿采用更耐腐蝕的哈氏合金，延長使用壽命。
E61-V：**壓力型。適合低壓力應用。
E61-M
200
10
P
VCRM
VCRF
M
M
型號
進氣壓力P1
出氣壓力P2
表面等級
進氣接頭
出氣接頭
進氣指示
出氣指示
E61-0
E61-M
E61-PS
E61-V
40-max.40bar
200-max.200bar
 
1.5-max.1.5 bar
4-max.4 bar
10-max.10 bar
P-Ra≤0.25μm
HP-Ra≤0.18μm
VCRM-1/4” VCR公頭
VCRF-1/4”VCR母頭
VCRA-1/4”VCR公頭(固定)
B-無（堵頭）
M-壓力表
K-電接點壓力表
D-壓力傳感器
0-VCR接口

E61尺寸圖



E61梅塞爾高純氣體減壓閥產品特征
為小流量優化設計，內表面電子級拋光處理
*小化內部容積以縮短吹掃時間
所有過流部件都采用316L不銹鋼、哈氏合金、PCTFE、PVDF材質
高精度控制
金屬對金屬密封
通過手柄實現出口壓力限位
100%氦氣檢漏測試
100/10級無塵室內組裝
可要求提供SEMASPEC認證文件
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